TYFB-200Z脂润滑分子泵是通过多级动、静涡轮叶片相对高速旋转实现抽气的一种机械式真空泵。此涡轮分子泵具有在分子流区域内时抽速大、压缩比高的特点，且比扩散泵节能、无油蒸汽污染。TYFB-200Z脂润滑分子泵是目前国内100口径抽速最大的分子泵。
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表-1 TYFB-200Z脂润滑分子泵技术参数表 |
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型号 |
TYFB-200Z |
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进气口法兰 |
100 ISO-K 或 CF100 |
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排气口法兰 |
KF25 |
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抽气速率(L/S)(氮气) |
200 |
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压缩比 |
N2 |
>108 |
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H2 |
>1X103 |
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极限压强(Pa) |
<8×10-7 |
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额定转速(rpm) |
30000 |
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使用轴承 |
进口陶瓷轴承 |
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振动值（μm） |
≤0.1 |
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启动时间(min) |
<4 |
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停机时间(min) |
<4.5 |
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建议采用的前级泵（L／S） |
2 |
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冷却方式 |
风冷 或 水冷 |
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冷却水温度（℃） |
≤28 |
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冷却水流量(L/min) |
1 |
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泵体烘烤温度（℃） |
<80 |
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环境温度（℃） |
5-36 |
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安装方向 |
任意角度 |
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泵重量(kg) |
≈11 |
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